Dépôt chimique en phase vapeur
procédé utilisé pour le dépôt en couche mince de revêtement de surface
Dépôt chimique en phase vapeur
Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux.
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